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7月15日，“至純集團(tuán)合肥至微項(xiàng)目”在合肥新站高新區(qū)舉行量產(chǎn)儀式。該項(xiàng)目投資約10億元，包括晶圓再生和半導(dǎo)體部件再生。其中，晶圓再生項(xiàng)目是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條量產(chǎn)的十二英寸晶圓再生產(chǎn)線，不僅填補(bǔ)了產(chǎn)業(yè)鏈的空白，也為合肥打造“中國IC之都”提供了強(qiáng)勁支撐。

成為國內(nèi)首條量產(chǎn)的晶圓再生生產(chǎn)線

合肥至微半導(dǎo)體有限公司是上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司旗下半導(dǎo)體晶圓再生和部件再生項(xiàng)目的載體，為集成電路企業(yè)十二英寸晶圓提供晶圓再生及零部件再生服務(wù)。該項(xiàng)目投資約10億元，于2020年3月在新站高新區(qū)正式開工，2021年3月開始試生產(chǎn)，現(xiàn)在正式進(jìn)入量產(chǎn)階段。

其中，晶圓再生項(xiàng)目以14納米晶圓廠的再生晶圓需求為設(shè)計(jì)基礎(chǔ)，是服務(wù)于中國半導(dǎo)體高階市場的首條量產(chǎn)的十二英寸晶圓再生產(chǎn)線。據(jù)介紹，晶圓再生指的是通過去除損耗控?fù)跗砻娴碾s質(zhì)和缺陷，使處理后的晶圓達(dá)到新片的標(biāo)準(zhǔn)，實(shí)現(xiàn)其循環(huán)再利用，進(jìn)而為企業(yè)節(jié)約大量成本。

據(jù)介紹，該項(xiàng)目全面達(dá)產(chǎn)后，可形成每年168萬片晶圓再生及120萬件零部件清洗的能力，滿產(chǎn)后年產(chǎn)值至少可超過6億元。

填補(bǔ)產(chǎn)業(yè)鏈空白，讓合肥更加“芯光燦爛”

作為國內(nèi)首個(gè)立項(xiàng)又最先量產(chǎn)的十二英寸晶圓再生工廠，該項(xiàng)目的量產(chǎn)，填補(bǔ)了集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的又一個(gè)空白。

經(jīng)過多年發(fā)展，合肥已成為國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展最快、成效最顯著的城市之一。而新站高新區(qū)則是合肥市“芯屏”產(chǎn)業(yè)的“主陣地”。其中，以京東方、維信諾等企業(yè)為依托，新站高新區(qū)已成為全國規(guī)模最大、技術(shù)方向最齊全的新型顯示產(chǎn)業(yè)基地。而隨著晶合、新匯成、奕斯偉、上海新陽等一批龍頭企業(yè)相繼投產(chǎn)，設(shè)計(jì)、制造、材料、封測全產(chǎn)業(yè)鏈條不斷壯大，新站高新區(qū)也成為全國重要的集成電路產(chǎn)業(yè)板塊，是很多半導(dǎo)體企業(yè)眼中主體集聚、配套齊全，環(huán)境優(yōu)越的投資熱土。

新站高新區(qū)有關(guān)負(fù)責(zé)人表示，“合肥至微”一期項(xiàng)目的成功量產(chǎn)，將成為國內(nèi)最早具備12英寸晶圓再生及關(guān)鍵設(shè)備零部件再生能力的項(xiàng)目之一，這為新站高新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈添上重要一環(huán)，也為合肥市集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入了新的動(dòng)力，讓合肥集成電路產(chǎn)業(yè)更加“芯光燦爛”。